山东滨化6N级氟化氢研究取得重大突破

讷言

<p class="ql-block">  近日,来自各方面的消息说,山东滨化集团有限公司在6N级氟化氢生产方面取得了重大突破。也就是说,中国首次在生产6N级纯度的氟化氢技术方面取得了成功。什么是6N级氟化氢呢?就是纯度高达99.9999%的氟化氢,过去在山东滨化集团有限公司没有取得这项成果之前,这种产品全部依赖进口。那么,高纯度氟化氢有什么用途呢?高纯度氟化氢主要用于半导体电路板和14nm以下的制程芯片的刻蚀。过去,普通电路板刻蚀主要用氟化氢溶液也就是氢氟酸刻蚀,但是14nm以下的电路板和芯片再用氢氟酸刻蚀,良率只有30%以下,如果要使14nm以下的电路板和芯片的良率达到85%以上,就必须使用高纯度氢氟酸干法刻蚀,也就是用6N级氟化氢进行刻蚀。山东滨化集团有限公司在6N氟化氢生产技术上的突破,不仅提高了我国普通电路板和芯片生产的良率,也为下一般我们在14纳米以下制程芯片的生产上铺好了路,使中国今后生产7nm、5nm、3nm、2nm芯片成为可能。</p>