谢常青老师,您永远活在我们心中!

微电子所刘屹东

<p class="ql-block">  谢常青,男,汉族,1971年出生于广西浦北县,1993年于中国科技大学毕业后来到微电子所工作,先后任助理工程师、工程师、高级工程师、研究员,2009年起任微电子器件与集成技术重点实验室副主任。2024年7月6日,因病不幸去世,享年53岁。</p><p class="ql-block"> 谢常青研究员长期从事先进纳米光刻技术研究,迄今保持高宽比达 160:1@130nm的纳米结构制造世界纪录,并首次实验证实自由空间光学涡旋嬗变规则。他曾荣获庆祝中华人民共和国成立70周年纪念章、国家技术发明奖二等奖、中国科学院第五届“科苑名匠”团队奖、中国科学院杰出成就奖等众多奖项,发表论文100多篇,授权国际国内发明专利115项,为我国先进纳米光刻技术的发展做出了突出贡献。</p><p class="ql-block"> 我们在这沉痛悼念谢常青老师的逝世。</p> <p class="ql-block">1985年浦北中学高一入学。</p> <p class="ql-block">1988年就读于中国科学技术大学。</p> <p class="ql-block">2012年参观台湾清华大学同步辐射装置。</p> <p class="ql-block">2016年南宁吴圩国际机场留念。</p> <p class="ql-block">2024年微电子研究所工艺线实验室中工作。</p> <p class="ql-block">2024年作为带头人获得“科苑名匠”团队奖。</p> <p class="ql-block">桃李满天下—谢老师和学生们的毕业合照。</p> <p class="ql-block">谢常青老师是学生的好导师,同事的好伙伴,是中国科学院微电子研究所杰出的科研工作者。他将永远活在我们的心中!</p>