<p class="ql-block">新设备：剥离、清洁；制造商：日本制造商</p><p class="ql-block">简介：活用长年培养的技术，提出考虑到成本降低的规格。全自动酸碱刻蚀（清洗）装置、手动酸碱刻蚀（清洗）装置、RCA清洗装置、前面搬送机类型、背面上部搬送机类型，除此之外，还可根据客户的需要对应上部搬送机类型、背面搬送机类型。无载体搬运式、载体搬运式、载体吊架搬运式等，可以根据成本进行选择。可以追加与前后装置的交接机构和外部通信功能。可配备自动门、自动盖、自动药液供给、称量、回收装置。可配备蚀刻液浓度管理机构。请咨询对象药液。（例：TMAH、KOH、HF、HCL等）作为出厂前检查，可测量蚀刻处理槽内的温度分布。</p><p class="ql-block">除了上下摆动机构之外，还可以追加晶片旋转机构。</p><p class="ql-block">定制：泄漏传感器、排气压力传感器、紧急停止开关、暂停开关（带自动机械）、门传感器（带自动机械）、压力开关、温度传感器（恒温度规格）、自动灭火系统（有机用）、巡逻灯、带网玻璃或强化玻璃（有机用）、爆压舱口（有机用）・各种联锁等</p>